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真空镀膜操作员
手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
题目
手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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