简述光刻加工原理及其基本技术步骤。

题目

简述光刻加工原理及其基本技术步骤。


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  • 第1题:

    简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性?


    正确答案: 1.光刻是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去并得到所需图形的工艺。
    2.光刻的重要性是在二氧化硅或金属薄膜上面刻蚀出与掩膜版完全对应的几何图形,从而实现选择性扩散和金属薄膜布线的目的,它是晶圆加工过程的中心,为后面的刻蚀和离子注入做准备。决定了芯片的性能,成品率,可靠性。

  • 第2题:

    简述研磨加工的基本原理。


    正确答案: 研磨加工的基本原理研磨加工是磨料通过研具对工件进行微量切削,包含物理和化学发那个面的综合作用。
    (1)物理作用研具材料比工件软。研磨时磨料受压嵌在研具表面,这些较高硬度的磨粒即成为无数个微刀刃。当研具与工件相对运动时,磨料的磨粒有的半固定在研具上,有的滑动或滚动与研具与工件之间,从而均匀的对工件切去很薄的一层。
    (2)化学作用有的研磨剂与空气接触时,在工件表面很快形成一层极薄的氧化膜。研磨时,工件的这层氧化膜不断地被磨掉及不断的形成。

  • 第3题:

    简述蛋白质质谱分析技术的步骤和原理。


    正确答案: 原理:是通过电离源将蛋白质分子转化为离子,然后利用质谱分析仪的电场、磁场将具有特定质量与电荷比值(M/Z)的蛋白质离子分离开来,经过离子检测器收集分离的离子,确定离子的M/Z值,分析鉴定未知蛋白。通常结合相应的处理及其他技术,能够比较准确、快速地鉴定蛋白质。
    步骤:将感兴趣的蛋白点回收后,进行胰蛋白酶胶内酶解,收集酶解肽段。
    一级质谱将蛋白酶降解后的肽段按照质荷比以及强度进行分析,形成肽指纹图谱(PMF);
    二级质谱是挑选一级质谱中有代表性的母离子峰以诱导碰撞解离方式打碎,形成肽段碎片指纹图谱(PFF);
    然后一级PMF和二级PFF数据,进行数据库搜索,获取蛋白质的具体鉴定信息。

  • 第4题:

    简述渗透探伤的工作原理和基本步骤。


    正确答案: 用黄绿色荧光渗透液或有色非荧光渗透液渗入表面开口缺陷的缝隙中去,经清洗去除表面多余的渗透液,然后通过显像显示缺陷存在的方法称为渗透探伤。
    渗透探伤的工作原理是:对零件表面被施涂含有荧光染料或着色染料的渗透液后,在毛细管作用下,经过一定时间的渗透,渗透液可以渗进表面开口缺陷中。经去除零件表面多余的渗透液和干燥后,再在零件表面施涂吸附介质——显像剂;显像剂将吸附缺陷中渗透液。在一定光源下(黑光或白光),缺陷处的渗透液迹痕被显示(黄绿色荧光或鲜艳的红色),从而探测出缺陷的形状及分布状况。

  • 第5题:

    微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。


    正确答案:超微机械加工;封接技术;分子装配技术

  • 第6题:

    简述ABC分析方法的原理及其基本步骤? 


    正确答案:ABC分析法的基本原理是:按照库存物资占用资金的多少及品种数量的多少把企业的全部库存物资划分为A、B、C三种类型,对不同类型的物资进行不同管理,从而简化了库存管理程序,增强了管理的针对性,已达到提高管理效率的目的。

  • 第7题:

    问答题
    简述核糖核酸酶切技术分析基因突变的基本原理及其优、缺点。

    正确答案: 核糖核酸酶切分析(RNase cleavage)的基本原理是在一定条件下,异源双链核酸分子RNA:RNA或RNA:DNA中的错配碱基可被核糖核酸酶RNase识别并切割;利用含SP6或T7噬菌体启动子的质粒,在体外合成与野生型DNA或RNA互补的标记RNA探针,将其与待检核酸样品杂交后再用RNase处理,形成的异源双链核酸分子如有单碱基错配,会被RNase识别切割,通过分析酶切片段数量及大小可检出有无突变及点突变位置。
    优点:一步反应确定突变在片段中的位置,不使用有害化学试剂。
    缺点:突变检出率不高,因为错配为嘌呤碱基时RNase的切割效率低下,即使同时检测正、反义两条链,检出率也只能达到70%,且需要制备特异性RNA探针。
    解析: 暂无解析

  • 第8题:

    问答题
    简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤。

    正确答案: P阱光刻,光刻有源区,光刻多晶硅,P+区光刻,N+区光刻,光刻接触孔,光刻铝线。
    解析: 暂无解析

  • 第9题:

    问答题
    简述光刻工艺步骤。

    正确答案: 涂光刻胶,曝光,显影,腐蚀,去光刻胶。
    解析: 暂无解析

  • 第10题:

    问答题
    简述光刻工艺的8个基本步骤。

    正确答案: ①气相成底膜;
    ②旋转涂胶;
    ③软烘;
    ④对准和曝光;
    ⑤曝光后烘培(PEB);
    ⑥显影;
    ⑦坚膜烘培;
    ⑧显影检查。
    解析: 暂无解析

  • 第11题:

    问答题
    简述ABC分析方法的原理及其基本步骤?

    正确答案: ABC分析法的基本原理是:按照库存物资占用资金的多少及品种数量的多少把企业的全部库存物资划分为A、B、C三种类型,对不同类型的物资进行不同管理,从而简化了库存管理程序,增强了管理的针对性,已达到提高管理效率的目的。
    解析: 暂无解析

  • 第12题:

    问答题
    光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤?

    正确答案: 光刻加工技术的基本过程通常包括:
    1.涂胶;
    2.曝光;
    3.显影;
    4.腐蚀;
    5.去胶。
    解析: 暂无解析

  • 第13题:

    简述灭火的基本方法及其原理。


    正确答案: 灭火的基本原理冷却、窒息、隔离和化学抑制。
    冷却灭火:对于一般可燃固体将其冷却到其燃点以下,对于可燃液体将其冷却至其闪点以下,燃烧反应就会终止。用水扑灭一般固体物质火灾主要是通过冷却作用实现的。
    窒息灭火:各种可燃物的燃烧都需要在其最低氧浓度以上进行,低于此浓度燃烧不能持续,一般碳氢化合物的气体或蒸汽通常在氧浓度低于15%时不能持续燃烧。二氧化碳、氮气、水蒸汽灭火主要是通过稀释氧浓度来实现的。
    隔离灭火:把可燃物与引火源以及氧隔离开来燃烧会自动终止。泡沫灭火剂灭火主要是通过隔离作用实现的。
    化学抑制灭火:对于含氧的化合物,其燃烧速度取决于OH.的浓度和反应的压力,对于不含氧的化合物其燃烧速度取决于O.的浓度,有效地抑制自由基的产生或迅速降低自由基的浓度,燃烧就会终止。干粉灭火剂灭火主要是通过化学抑制作用,其表面能够捕获OH.和H.使之结合成水实现的。
    前三种灭火作用主要是物理过程,化学抑制是化学过程。不论是使用灭火剂还是通过机械作用灭火,都是通过上述4种作用的一种或几种来实现的。

  • 第14题:

    简述PCR原理及其基本反应步骤。


    正确答案:PCR技术的基本原理类似于DNA的天然复制过程,其特异性依赖于与靶序列两端互补的寡核苷酸引物。PCR由变性--退火--延伸三个基本反应步骤构成:
    ①模板DNA的变性:模板DNA经加热至93℃左右一定时间后,使模板DNA双链或经PCR扩增形成的双链DNA解离,使之成为单链,以便它与引物结合,为下轮反应作准备;
    ②模板DNA与引物的退火(复性):模板DNA经加热变性成单链后,温度降至55℃左右,引物与模板DNA单链的互补序列配对结合;
    ③引物的延伸:DNA模板--引物结合物在TaqDNA聚合酶的作用下,以dNTP为反应原料,靶序列为模板,按碱基配对与半保留复制原理,合成一条新的与模板互补的DNA链。

  • 第15题:

    简述线切割工序的加工步骤及其注意事项。


    正确答案: 1、清理空刀处的杂质以免加工造成断丝现象
    2、用800目砂纸磨模具外圆及对线边,剔除毛刺,以便机器找准
    3、装机:保证平面度±3丝,圆心5μ,角度±丝
    4、导入程序切割
    5、卸模
    6、自检工作带有无跳丝等加工缺陷

  • 第16题:

    简述队列研究的基本原理及其基本特点


    正确答案:原理:在某一特定人群中选择研究对象,根据目前或过去某个时期是否暴露于某个待研究的危险因素,将研究对象分为暴露组和非暴露组,或按不同的暴露水平将研究对象分为不同的亚组,随访观察一段时间,检查各组人群待研究结局的发生情况,比较各组结局的发生率,从而检验和评价暴露因素和结局的关系.
    特点:①在时序上是由前向后的;②属于观察性研究;③研究对象按暴露与否分组;④是从“因”到“果”的研究。

  • 第17题:

    简述核糖核酸酶切技术分析基因突变的基本原理及其优、缺点。


    正确答案: 核糖核酸酶切分析(RNase cleavage)的基本原理是在一定条件下,异源双链核酸分子RNA:RNA或RNA:DNA中的错配碱基可被核糖核酸酶RNase识别并切割;利用含SP6或T7噬菌体启动子的质粒,在体外合成与野生型DNA或RNA互补的标记RNA探针,将其与待检核酸样品杂交后再用RNase处理,形成的异源双链核酸分子如有单碱基错配,会被RNase识别切割,通过分析酶切片段数量及大小可检出有无突变及点突变位置。
    优点:一步反应确定突变在片段中的位置,不使用有害化学试剂。
    缺点:突变检出率不高,因为错配为嘌呤碱基时RNase的切割效率低下,即使同时检测正、反义两条链,检出率也只能达到70%,且需要制备特异性RNA探针。

  • 第18题:

    简述反义基因技术的基本概念、原理及其特点,并举例反义基因技术在食品产业中的应用。


    正确答案: 概念:转录产生反义RNA的基因称之为反义基因(antisense gene)
    原理:把一段DNA序列以反义方向插入到合适的启动子和终止子之间,然后把此基因构建体转化到受体细胞中去(常用农杆菌转化),通过选择培养获得转化生物体的技术。反义基因转录生成的mRNA可抑制同源性内源基因的表达,该法可获得特定基因表达受阻而其它不相关基因的表达不受影响的转基因植株。
    特点:
    ①反义RNA可以高度专一地调节某一特定基因的表达,不影响其它基因的表达。
    ②转到植物中的反义RNA作用类似遗传缺陷型,表现为显性。避免了二倍体内等位基因的显隐性干扰。
    ③反义基因整合到植物的基因组中可独立表达和稳定遗传,后代符合孟德尔遗传规律。
    ④反义基因不必了解其目的基因所编码的蛋白质结构,省去对基因产物的研究工作。
    ⑤反义基因不改变目的基因结构,应用更加安全
    应用:
    (1)改造食品微生物------改良微生物菌种;改良乳酸菌遗传特性(抗药基因、风味物质基因、产酶基因、耐氧相关基因、产细菌素基因);酶制剂的生产;
    (2)改善食品原料的品质------改良动物食品性状;改造植物食品原料(提高植物食品氨基酸含量、增加食品的甜味、改造油料作物、改良植物食品蛋白质品质、改善园艺产品采后品质);
    (3)改进食品生产工艺------利用DNA重组技术改进果糖和乙醇生产方法;改良啤酒大麦的加工工艺;改良种子贮藏蛋白的烘烤特性;改善牛乳加工特性;
    (4)生产食品添加剂及功能性食品------生产氨基酸;生产黄原胶;超氧化物歧化酶(SOD)的基因工程;生产保健食品有效成分。

  • 第19题:

    单选题
    微传感器的加工工艺不包括()。
    A

    光刻技术

    B

    HARQ技术

    C

    半导体掺杂技术

    D

    LIGA技术


    正确答案: B
    解析: 暂无解析

  • 第20题:

    问答题
    简述渗透探伤的工作原理和基本步骤。

    正确答案: 用黄绿色荧光渗透液或有色非荧光渗透液渗入表面开口缺陷的缝隙中去,经清洗去除表面多余的渗透液,然后通过显像显示缺陷存在的方法称为渗透探伤。
    渗透探伤的工作原理是:对零件表面被施涂含有荧光染料或着色染料的渗透液后,在毛细管作用下,经过一定时间的渗透,渗透液可以渗进表面开口缺陷中。经去除零件表面多余的渗透液和干燥后,再在零件表面施涂吸附介质——显像剂;显像剂将吸附缺陷中的渗透液。在一定光源下(困光或白光),缺陷处的渗透液痕迹被显示(黄绿色荧光或鲜艳的红色),从而探测出缺陷的形状及分布状况。
    解析: 暂无解析

  • 第21题:

    问答题
    列出光刻工艺的十个步骤,并简述每一步的目的。

    正确答案: ①表面准备:清洁和干燥晶圆表面
    ②涂光刻胶:在晶圆表面均匀涂抹一薄层光刻胶
    ③软烘培:加热,部分蒸发光刻胶溶剂
    ④对准和曝光:掩膜版和图形在晶圆上精确对准和光刻胶的曝光,负胶是聚合物
    ⑤显影:非聚合光刻胶的去除
    ⑥硬烘培:对溶剂的继续蒸发
    ⑦显影目捡:检查表面的对准情况和缺陷情况
    ⑧刻蚀:将晶圆顶层通过光刻胶的开口去除
    ⑨光刻胶的去除:将晶圆上的光刻胶层去除
    ⑩最终目检:表面检查以发现刻蚀的不规则和其他问题
    解析: 暂无解析

  • 第22题:

    填空题
    微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。

    正确答案: 三束加工技术,牺牲层技术,外延生长技术
    解析: 暂无解析

  • 第23题:

    问答题
    什么是光刻加工技术?试简述光刻加工的原理和工艺流程。

    正确答案: 光刻加工技术就是用光刻加工方法,刻蚀出规定的图形的技术。
    光刻加工是用照相复印的方法将光刻掩膜上的图形印制在涂有光致抗蚀剂(光刻胶)的
    薄膜或基材表面,然后进行选择性腐蚀,刻蚀出规定的图形。
    工艺流程是:涂胶、曝光、显影、坚膜、腐蚀及去胶。
    解析: 暂无解析

  • 第24题:

    问答题
    简述反义基因技术的基本概念、原理及其特点,并举例反义基因技术在食品产业中的应用。

    正确答案: 概念:转录产生反义RNA的基因称之为反义基因(antisense gene)
    原理:把一段DNA序列以反义方向插入到合适的启动子和终止子之间,然后把此基因构建体转化到受体细胞中去(常用农杆菌转化),通过选择培养获得转化生物体的技术。反义基因转录生成的mRNA可抑制同源性内源基因的表达,该法可获得特定基因表达受阻而其它不相关基因的表达不受影响的转基因植株。
    特点:
    ①反义RNA可以高度专一地调节某一特定基因的表达,不影响其它基因的表达。
    ②转到植物中的反义RNA作用类似遗传缺陷型,表现为显性。避免了二倍体内等位基因的显隐性干扰。
    ③反义基因整合到植物的基因组中可独立表达和稳定遗传,后代符合孟德尔遗传规律。
    ④反义基因不必了解其目的基因所编码的蛋白质结构,省去对基因产物的研究工作。
    ⑤反义基因不改变目的基因结构,应用更加安全
    应用:
    (1)改造食品微生物------改良微生物菌种;改良乳酸菌遗传特性(抗药基因、风味物质基因、产酶基因、耐氧相关基因、产细菌素基因);酶制剂的生产;
    (2)改善食品原料的品质------改良动物食品性状;改造植物食品原料(提高植物食品氨基酸含量、增加食品的甜味、改造油料作物、改良植物食品蛋白质品质、改善园艺产品采后品质);
    (3)改进食品生产工艺------利用DNA重组技术改进果糖和乙醇生产方法;改良啤酒大麦的加工工艺;改良种子贮藏蛋白的烘烤特性;改善牛乳加工特性;
    (4)生产食品添加剂及功能性食品------生产氨基酸;生产黄原胶;超氧化物歧化酶(SOD)的基因工程;生产保健食品有效成分。
    解析: 暂无解析