下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用()A.电子束B.离子束C.激光束D.超声波E.等离子体

题目
下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用()

A.电子束

B.离子束

C.激光束

D.超声波

E.等离子体

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1.下列选项中()不是钢材预处理工艺。A. 焊接坡口加工B. 表面清理C. 涂漆D. 矫正

2.微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工

3.离子束加工包括( )。A.离子束溅射去除加工B.离子束溅射镀膜C.离子束溅射注入D.离子束焊接

4.下列切削加工中属于超精密加工的是( )。A.金刚石超精密车削B.光刻加工C.超声研磨D.激光加工

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  • 第1题：

    按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

    • A、光学曝光
    • B、离子束曝光
    • C、接近式曝光
    • D、电子束曝光
    • E、投影式曝光

    正确答案:A,B,D

  • 第2题：

    下列特种加工方法中，可以进行非接触远距离加工是（）。

    • A、电火花加工
    • B、电解加工
    • C、激光加工
    • D、超声加工
    • E、水射流加工
    • F、电子束加工
    • G、离子束加工

    正确答案:C

  • 第3题：

    简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？


    正确答案:电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高（106～109W/cm2）的电子束，以极高的速度冲击倒工件表面积下的区域上，在极短的时间内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到高温，使材料局部熔化和汽化，抛出工件表面。特点：
    1.束径小、能量密度高
    2.采用非接触加工
    3.被加工对象范围广
    4.电子束能量高，加工速度快、效率高；
    5.易于实现自动化
    6.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格较贵。
    电子束加工的应用范围很广，可用打各种孔、切槽、焊接、光刻、表面改性等工件。它既是一种精密加工方法，又是一种重要的微细加工方法。离子束加工是在真空下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，经过加速的离子具有很大的能量，离子束打到工件表面上，发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现的加工。特点：
    1.加工精度和表面质量高
    2.加工材料广泛
    3.加工方法丰富
    4.性能好，易于实现自动化
    5.应用范围广泛；
    离子束的束斑直径和能量密度，直径小、能量密度大的离子束用于去除加工，直径大、能量密度较低时适于镀膜、刻蚀，而直径大、能量强的离子束适于注入加工
    当能量密度极高的激光束照射在加工表面上时，一部分从材料表面反射，一部分透人材料内，其光能被吸收，并转换为热能，使照射区域的温度迅速升高、熔化、气化和熔融溅出而去除材料。特点：
    1.加工精度高
    2.加工材料范围广
    3.加工性能好
    4.加工速度快、效率高
    5.价格昂贵。应用范围广泛，可归纳为激光去除加工、激光表面改性和激光焊接等几类，具体的加工方法有打孔、切割、微调、动平衡、刻蚀、固态相变、合金化、涂敷、熔凝、焊接、激光存储（光盘）等。

  • 第4题：

    光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

    • A、电子束曝光技术
    • B、离子束曝光技术
    • C、X射线曝光技术

    正确答案:B

  • 第5题：

    下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）

    • A、激光加工
    • B、电火花加工
    • C、电子束加工
    • D、离子束加工
    • E、水射流加工
    • F、电解加工

    正确答案:B,F

  • 第6题：

    下列特种加工方法中，只能加工导电材料的是（）

    • A、电火花加工
    • B、电解加工
    • C、激光加工
    • D、超声加工
    • E、水射流加工
    • F、电子束加工
    • G、离子束加工

    正确答案:A,B

  • 第7题：

    单选题
    微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
    A

    a.离子束刻蚀、激光刻蚀

    B

    b.干法刻蚀、湿法刻蚀

    C

    c.溅射加工、直写加工


    正确答案： A
    解析： 暂无解析

  • 第8题：

    单选题
    光刻加工的工艺过程为：（）
    A

    ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

    B

    ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

    C

    ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原


    正确答案： C
    解析： 暂无解析

  • 第9题：

    问答题
    电子束加工和离子束加工在原理上和应用范围上有何异同？

    正确答案： 离子束加工原理和电子束加工原理基本类似，都是在真空条件下将离子源产生的离子束经过加速聚焦使之撞击到工件表面，不同的是离子带正电荷，其质量比电子大数千数万倍，所以一旦离子加速到较高速度时，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它靠微观的机械撞击能力，而不是靠动能转化为热能来加工的。
    解析： 暂无解析

  • 第10题：

    多选题
    下列特种加工方法中，不属于高能束加工范畴的是（）
    A

    激光加工

    B

    电火花加工

    C

    电子束加工

    D

    离子束加工

    E

    水射流加工

    F

    电解加工


    正确答案： F,E
    解析： 暂无解析

  • 第11题：

    多选题
    下列特种加工方法中，只能加工导电材料的是（）
    A

    电火花加工

    B

    电解加工

    C

    激光加工

    D

    超声加工

    E

    水射流加工

    F

    电子束加工

    G

    离子束加工


    正确答案： B,F
    解析： 暂无解析

  • 第12题：

    问答题
    电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？

    正确答案： 三者都适合于精密、微细加工，但电子束、离子束加工需在真空中进行，因此加工表面不会被氧化、污染，特别适合于“洁净”加工。电子束加工是基于电能使电子加速转换成动能，在撞击工件时动能转换成热能使材料熔化、气化而被蚀除，主要用于打孔、切割、焊接、热处理等。而离子束加工是电能使质量较大的正离子加速后打到工件表面，靠机械撞击能量使工件表面的原子层变形、破坏或切除分离，并不发热，主要用于精微表面工程，有离子刻蚀、溅射沉积、离子镀、离子注入等形式。激光加工是靠高能量密度的光能转换成热能使材料熔化、气化而被蚀除，可在空气中加工，不受空间结构的限制，故也使用于大型工件的切割、焊接、热处理等工艺。
    解析： 暂无解析

  • 第13题：

    光刻加工的工艺过程为（）

    • A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
    • B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
    • C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

    正确答案:B

  • 第14题：

    微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

    • A、干法刻蚀、湿法刻蚀
    • B、离子束刻蚀、激光刻蚀
    • C、溅射加工、直写加工
    • D、以上都可以

    正确答案:A

  • 第15题：

    激光束、离子束、电子束均可对工件表面进行改性。


    正确答案:正确

  • 第16题：

    下列特种加工方法中，不能加工陶瓷、玻璃、宝石等的是（）

    • A、电火花加工
    • B、电解加工
    • C、激光加工
    • D、超声加工
    • E、水射流加工
    • F、电子束加工
    • G、离子束加工

    正确答案:A,B

  • 第17题：

    下列特种加工方法中，利用电化学反应原理进行加工的是（）。

    • A、电火花加工
    • B、电解加工
    • C、激光加工
    • D、超声加工
    • E、水射流加工
    • F、电子束加工
    • G、离子束加工

    正确答案:B

  • 第18题：

    单选题
    下列加工方法中，利用束流轰击工件表面，在工件表面添加磷硼制作P/N结的是（）
    A

    激光加工

    B

    离子束加工

    C

    超声加工

    D

    电子束加工


    正确答案： D
    解析： 暂无解析

  • 第19题：

    单选题
    加工弯孔、曲面，可以采用的工艺是（）
    A

    激光

    B

    电子束

    C

    等离子体

    D

    超声加工


    正确答案： A
    解析： 暂无解析

  • 第20题：

    单选题
    下列加工工艺中，利用金属离子阴极沉积方法来进行成形加工的方法是（）
    A

    离子束加工

    B

    电解加工

    C

    等离子体加工

    D

    电刷镀


    正确答案： A
    解析： 暂无解析

  • 第21题：

    多选题
    按加工原理分类，特种加工机床可以分为（）。
    A

    超声波加工

    B

    电子束加工

    C

    电加工

    D

    离子束加工

    E

    激光加工


    正确答案： C,A
    解析： 暂无解析

  • 第22题：

    问答题
    电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？

    正确答案： 三者都是用于精密、微细加工，但电子束。离子束加工须在真空中进行，因此加工表面不会被氧化、污染，特别适合于“洁净”加工，电子束加工是基于电能使电子加速转换成动能，在撞击工件时动能换成热能使材料熔化、气化而被蚀除，主要用于打孔、切割焊接、热处理等。而电解液的主要作用是电能使质量大的正离子加速后答道工件表面，靠机械撞击能量使工件表面的原子层变形，破坏或切除分离，并不发热，主要用于精微表面工程，有离子刻蚀、溅射沉积、离子镀、离子注入等形式，激光加工是靠高能量密度的光能转换成热能是材料熔化、气化而被切除，可在空气中加工，不受空间结构的限制，故也适用于大型工件的切割、焊接、热处理等工艺。
    解析： 暂无解析

  • 第23题：

    单选题
    光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
    A

    电子束曝光技术

    B

    离子束曝光技术

    C

    X射线曝光技术


    正确答案： B
    解析： 暂无解析

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