2、PECVD 的含义是A．低压化学气相淀积B．常压化学气相淀积C．等离子体增强化学气相淀积D．光化学气相淀积

第1题：

第2题：

二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

正确答案:氧化；气相

第3题：

简述PECVD设备的特点。

正确答案:P.ECVD设备的优点：
1）可以大面积均匀成膜、生长性好、能在较低的温度下形成致密的薄膜；
2）可防止热产生的损伤及相互材料的扩散；
3）可生长需要低温成膜及及反应速度慢的薄膜；
4）设备内的平行电极方便实现大面积化。

第4题：

P2DR的含义是：（）、（）、（）、（）。

正确答案:策略、保护、探测、反应

第5题：

EDTA－NA2的中文含义是（）。

正确答案:乙二胺四乙酸二钠

第6题：

体育与健康“2+1”工程中，2+1的含义是（）和（）。

正确答案:掌握2项运动技能；1项艺术特长

第7题：

第8题：

第9题：

第10题：

第11题：

第12题：

第13题：

第14题：

简述PECVD薄膜沉积的原理。

正确答案:薄膜的沉积原理包括三个基本的过程：
1）等离子体反应，是指等离子体通过与具有能量的电子、离子或者基团等粒子碰撞，使通入到反应室中的气体分子分解的过程。其中等离子体包括自由基、原子和分子等中性粒子，以及离子和电子等非中性粒子。
2）输送粒子到基板表面，等离子体产生的粒子以扩散方式或离子加速的形式输运到基板表面。中性粒子受浓度梯度的驱动以扩散方式输运到基板表面，阳离子受等离子和基板间的电位差驱动而离子加速运动到基板表面。
3）在表面发生反应，当粒子达到基板表面时，通过一系列吸附、迁移、反应，以及中间产物的解吸附过程形成要沉积的薄膜。衬底温度对每一步都是致关重要的。

第15题：

电池片局部点较正常情况下更亮，此现象为（）

• A、PECVD反
• B、亮斑
• C、灰斑
• D、绒丝

正确答案:B

第16题：

简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？

正确答案:目的：在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。
P.ECVD技术原理：是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。

第17题：

YB132-S2-2中，Y的含义是（）异步电动机，B的含义是（）

正确答案:交流；隔爆式

第18题：

某旋风预热器的符号写成2-1-1-1-1是什么含义？2-2-2-2-2又是什么含义？

正确答案:单列，一级有2个旋风筒，其余各级均有1个；
双列，各级都有2个旋风筒。

第19题：

第20题：

第21题：

第22题：

第23题：

第24题：