二氧化硅膜的质量要求有（）。A、薄膜表面无斑点B、薄膜中的带电离子含量符合要求C、薄膜表面无针孔D、薄膜的厚度达到规定指标E、薄膜厚度均匀，结构致密

题目

二氧化硅膜的质量要求有（）。

  • A、薄膜表面无斑点
  • B、薄膜中的带电离子含量符合要求
  • C、薄膜表面无针孔
  • D、薄膜的厚度达到规定指标
  • E、薄膜厚度均匀，结构致密
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参考答案和解析
正确答案:A,B,C,D,E
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