薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。A、形成晶核B、晶粒自旋C、晶粒凝结D、缝道填补

薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。