旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？

题目

旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？

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参考答案和解析
正确答案: （1）检查手臂吸嘴是否正常；
（2）手臂位置是否正确；
（3）手臂真空是否正常。
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