旋涂机手臂抓不住盘片如何处理?

题目

旋涂机手臂抓不住盘片如何处理?


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参考答案和解析
正确答案: (1)检查手臂吸嘴是否正常;
(2)手臂位置是否正确;
(3)手臂真空是否正常。