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半导体芯片制造工
衬底清洗过程包括哪几个步骤?
衬底清洗过程包括哪几个步骤?
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衬底清洗过程包括哪几个步骤?
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参考答案和解析
正确答案:
(1)擦洗表面的大块污物;(2)浸泡;(3)化学腐蚀;(4)水清洗;(5)干燥。
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