下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段?试解释其工作原理。

题目

下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段?试解释其工作原理。


相似考题
参考答案和解析
正确答案: ab段为无光放电区;bc段为汤生放电;c点为放电的着火点,cd段为前期辉光放电;de段为正常辉光放电区ef段为反常辉光放电;fg段为电弧放电。
正常辉光放电区—de段,电流的增加与电压无关,只与阴极上产生辉光的表面积有关。在这个区域内,阴极的有效放电面积随电流增加而增大,而阴极有效放电区内的电流密度保持恒定。
在这一阶段,导电的粒子数目大大增加,在碰撞过程中转移的能量也足够高,因此会产生明显的辉光,维持辉光放电的电压较低,而且不变。气体击穿之后,电子和正离子来源于电子的碰撞和正离子的轰击使气体电离,即使不存在自然电离源,放电也将继续下去。这种放电方式又称为自持放电。
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  • 第1题:

    下图为三相异步电动机直接起动控制线路原理图,请写出其工作原理。
    (1)合上电源开关S。
    (2)按下SB2,交流接触器KM得电,KM主触点闭合,电动机M起动,同时,KM辅助接点闭合,实现自锁。
    (3)按下SB1,交流接触器M失电,KM主触点断开,电动机M停转,同时,KM辅助接点断开。

  • 第2题:

    请写出高频通道的检查方法,并说出各时间段(即三个5S)高频装置的工作原理。


    正确答案:对于闭锁式保护装置的高频通道,每日上午8:30至9:30应进行通道交换试验,试验通道衰耗的变化情况,其方法是:按下#9插件的启信按扭,这时第一个5秒为对侧发信,此时通道上的信号为对侧的信号,#11插件上9—18dBm指示灯应亮,#10插件的收信指示灯亮,#4插件上表头指示为0,如按下高频电压按扭,表头此时指示为收信电压值,其值应为10V。第二个5秒为两侧同时发信,此时,#7插件发信指示灯亮,#11插件9—21dBm指示灯亮,#10插件的收信指示灯亮,#4插件上表头指示为0,按下高频电压按扭,表头此时指示为发信电压值,其值应为35V。第三个5秒为本侧发信,面板上的指示同两侧发信。

  • 第3题:

    “出属心系,下膈,络小肠”的经脉是哪一条?请写出其经脉的循行。


    正确答案: 手少阴心经
    原文:心手少阴之脉,起于心中,出属心系,下膈,络小肠。其支者:从心系,上挟咽,系目系。其直者:复从心系,却上肺,下出腋下,下循臑内后谦,行太阴、心主之后,下肘内,循臂内后廉,抵掌后锐骨之端,入掌内后廉,循小指之内,出其端。
    白话文:起于心中,出属“心系”(心与其他脏器相联系的部位),通过横膈,联络小肠。“心系”向上的脉:挟着咽喉上行,连系于“目系”“心系”直行的脉:上行于肺部,再向下出于腋窝部(极泉),沿着上臂内侧后缘,手太阴经和手厥阴经的后面,到达肘窝,沿着前臂内侧后缘,至掌后豌豆骨部进入掌内,沿小指内侧至末端(少冲),与手太阳小肠经相接。

  • 第4题:

    “下络大肠,还循胃口”的经脉是哪一条?请写出其经脉的循行。


    正确答案: 手太阴肺经起于中焦,向下联络大肠,回绕过来沿着胃的上口,通过横膈,属于肺脏。从“肺系”(肺与喉咙相联系的部位)横行出来(中府),向下沿着上肢内侧前缘,行手少阴经和手厥阴经前面,下行至肘窝中,沿前臂内侧前缘,入寸口,经过鱼际,止于拇指桡侧端(少商)。手腕后方的支脉:从腕后列缺分出,一直走向食指桡侧端(商阳),与手阳明大肠经相接。

  • 第5题:

    写出5种常用阀门名称并简述其工作原理?


    正确答案: (1)闸阀:工作原理:闸阀的闸报沿阀座中心线的垂直方向移动,使闸阀板密封面贴合,并依靠顶楔、弹簧或闸阀的楔形来增强密封条,从而阻止介质通过。
    (2)截止阀:截止阀的阀瓣沿阀座中心垂直移动,依靠阀杆螺纹的施压,使阀瓣密封面紧贴密贴合,从而截止介质流通。
    (3)单向阀:依靠流体本身的压力变化,使关闭件在阀体内摆动或移动,来自动启闭管路,限制介质逆向流动。
    (4)蝶阀:蝶阀阀瓣为一圆盘,可围绕阀座内的轴旋转来达到启闭目的。
    (5)球阀:球阀的阀瓣为一通心球体,用球体绕阀体中心做旋转,以达到启闭的目的。

  • 第6题:

    请写出复用段保护的工作原理,在保护机理上与通道保护有何区别?


    正确答案: 复用段保护是利用光纤容量的一半作为工作信道,另一半作为保护信道,对于两根光纤来说,一根光纤的保护信道用于保护另一根光纤的工作信道。它的保护倒换属于双端倒换,即故障两侧的节点要同时倒换,所以需要APS协议来完成。
    主要区别:通道保护是单端倒换,不需协议。复用段保护是双端倒换,需要APS协议。通道保护倒换可按VC-12倒换,而复用段保护倒换是按VC-4倒换。

  • 第7题:

    用T10钢制造形状简单的车刀,其加工路线为:锻造→预备热处理→切削加工→最终热处理→磨加工。试写出各热处理工艺名称及作用。


    正确答案: 预备热处理:正火+球化退火。正火抑制网状渗碳体析出为球化退火做准备。球化退火使碳化物由片状转变为球状,改善切削加工性能。
    最终热处理:不完全淬火+低温回火。获得细小的回火马氏体和粒状碳化物具有很高的硬度和耐磨性。

  • 第8题:

    问答题
    何谓细菌?试写出其细胞结构的名称。

    正确答案: 细菌是一类细胞细而短(一般0.5×0.5~5.0μm)、结构简单、细胞壁坚韧、以裂殖方式繁殖、水生性较强的原核微生物。
    细胞结构分为:基本结构:为全部细菌细胞所共有。如细胞壁(支原体例外)、细胞膜、核质体、细胞质等。特殊结构:部分细菌细胞所具有。如鞭毛、菌毛、荚膜、芽孢及伴孢晶体等。
    解析: 暂无解析

  • 第9题:

    问答题
    用T10钢制造形状简单的车刀,其加工路线为:锻造→预备热处理→切削加工→最终热处理→磨加工。试写出各热处理工艺名称及作用。

    正确答案: 预备热处理:正火+球化退火。正火抑制网状渗碳体析出为球化退火做准备。球化退火使碳化物由片状转变为球状,改善切削加工性能。
    最终热处理:不完全淬火+低温回火。获得细小的回火马氏体和粒状碳化物具有很高的硬度和耐磨性。
    解析: 暂无解析

  • 第10题:

    问答题
    Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质,为什么?请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。

    正确答案: Si3N4材料在半导体工艺中不能用作层间介质,因为Si3N4材料的介电常数大,用作层间介质会引起很严重的互连延迟。
    Si3N4在集成电路工艺中的应用:①芯片最终的钝化层;②STI工艺中的CMP的阻止层。
    解析: 暂无解析

  • 第11题:

    问答题
    请写出复用段保护的工作原理,在保护机理上与通道保护有何区别?

    正确答案: 复用段保护是利用光纤容量的一半作为工作信道,另一半作为保护信道,对于两根光纤来说,一根光纤的保护信道用于保护另一根光纤的工作信道。它的保护倒换属于双端倒换,即故障两侧的节点要同时倒换,所以需要APS协议来完成。
    主要区别:通道保护是单端倒换,不需协议。复用段保护是双端倒换,需要APS协议。通道保护倒换可按VC-12倒换,而复用段保护倒换是按VC-4倒换。
    解析: 暂无解析

  • 第12题:

    问答题
    写出5种常用阀门名称并简述其工作原理?

    正确答案: (1)闸阀:工作原理:闸阀的闸报沿阀座中心线的垂直方向移动,使闸阀板密封面贴合,并依靠顶楔、弹簧或闸阀的楔形来增强密封条,从而阻止介质通过。
    (2)截止阀:截止阀的阀瓣沿阀座中心垂直移动,依靠阀杆螺纹的施压,使阀瓣密封面紧贴密贴合,从而截止介质流通。
    (3)单向阀:依靠流体本身的压力变化,使关闭件在阀体内摆动或移动,来自动启闭管路,限制介质逆向流动。
    (4)蝶阀:蝶阀阀瓣为一圆盘,可围绕阀座内的轴旋转来达到启闭目的。
    (5)球阀:球阀的阀瓣为一通心球体,用球体绕阀体中心做旋转,以达到启闭的目的。
    解析: 暂无解析

  • 第13题:

    下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段?试解释其工作原理。


    正确答案: ab段为无光放电区;bc段为汤生放电;c点为放电的着火点,cd段为前期辉光放电;de段为正常辉光放电区ef段为反常辉光放电;fg段为电弧放电。
    正常辉光放电区—de段,电流的增加与电压无关,只与阴极上产生辉光的表面积有关。在这个区域内,阴极的有效放电面积随电流增加而增大,而阴极有效放电区内的电流密度保持恒定。
    在这一阶段,导电的粒子数目大大增加,在碰撞过程中转移的能量也足够高,因此会产生明显的辉光,维持辉光放电的电压较低,而且不变。气体击穿之后,电子和正离子来源于电子的碰撞和正离子的轰击使气体电离,即使不存在自然电离源,放电也将继续下去。这种放电方式又称为自持放电。

  • 第14题:

    何谓细菌?试写出其细胞结构的名称。


    正确答案: 细菌是一类细胞细而短(一般0.5×0.5~5.0μm)、结构简单、细胞壁坚韧、以裂殖方式繁殖、水生性较强的原核微生物。
    细胞结构分为:基本结构:为全部细菌细胞所共有。如细胞壁(支原体例外)、细胞膜、核质体、细胞质等。特殊结构:部分细菌细胞所具有。如鞭毛、菌毛、荚膜、芽孢及伴孢晶体等。

  • 第15题:

    “入下齿中”的经脉是哪一条?请写出其经脉循行。


    正确答案: 手阳明大肠经手阳明大肠经起于食指桡侧端,沿着食指桡侧缘,出第1、2掌骨间,进入两筋(拇长伸肌腱和拇短伸肌腱)之间,沿着前臂桡侧,进入肘外侧,经上臂外侧前边,上肩,入缺盆,络肺属大肠。
    缺盆部支脉:上走颈部,进入下齿龈,回绕至上唇,交叉于人中,左脉向右,右脉向左,止于对侧鼻旁(迎香)。

  • 第16题:

    什么是目标捕捉?请写出目标捕捉操作中的4种捕捉类型,并分别解释它们的含义


    正确答案:目标捕捉是帮助用户迅速而准确地捕捉到可见图形实体上的特殊点,供作图定位使用。例如线段的中点、直线与圆的交点等等,目标捕捉本身并不产生实体,而是配合其他命令使用的。
    例如目标捕捉操作中的以下4种捕捉类型:
    端点:捕捉线段、圆弧、椭圆弧、多义线等实体的端点。
    中点:捕捉线段、圆弧、椭圆弧、多义线、样条曲线等实体的中点。
    交点:捕捉直线、圆、圆弧、椭圆、椭圆弧、多义线、样条曲线、构造线等实体之间的交点。
    切点:捕捉圆、圆弧、椭圆、椭圆弧上与作图过程中最后一点的连线形成相切的离光标最近的点

  • 第17题:

    请写出气体自外界进入肺泡所经过各段结构的名称。


    正确答案:鼻→咽→喉→气管→主支气管→肺叶支气管→肺段支气管→小支气管→细支气管→终末细支气管→呼吸性细支气管→肺泡管→肺泡囊→肺泡

  • 第18题:

    简述快速原型制造工艺方法中,分层实体制造(LOM)的工作原理和主要工艺过程?


    正确答案: 切割出工艺边框和原型的边缘轮廓线,而后将不属于原型的材料切割成网格状。片材表面事先涂覆上一层热熔胶。通过升降平台的移动和箔材的送给,并利用热压辊辗压将后铺的箔材与先前的层片粘接在一起,再切割出新的层片。这样层层迭加后得到下一个块状物,最后将不属于原型的材料小块剥除,就获得所需的三维实体。

  • 第19题:

    进行直流泄漏或直流耐压试验时,在降压断开电源后,应对试品进行放电。其放电操作的最佳方式是()将试品接地放电。

    • A、直接用导线;
    • B、通过电容;
    • C、通过电感;
    • D、先通过电阻接地放电,然后直接用导线。

    正确答案:D

  • 第20题:

    问答题
    请填写出路堤填筑“三阶段,四区段,八流程”中括号中的正确工作程序名称。

    正确答案:
    解析:

  • 第21题:

    问答题
    请写出5种宝石学中的特殊光学现象,并分别解释其形成原因。

    正确答案: 猫眼效应:宝石内部含有丰富的包裹体,当一组针管状包裹体密集而平行的排列,琢磨的宝石使其底面平行于包裹体的方向,加工时,琢磨成具有光滑的弧形顶面,以便使入射光能从宝石次表层的针管状包裹体、洞穴或片晶中反射出来,这时就会出现猫眼效应;
    星光效应:当宝石内部含有大量的针管状包裹体,并且具有至少两个方向和定向排列的针管状包裹体,琢磨的宝石使其底面平行于包裹体的底面时会出现星光效应,包括四射星光和六射星光;
    变彩:当两条光线(A、B.在相同方向上传播时,频率相同、位相相同并沿同一条光路传播,两光波的电矢量加强,波峰与波谷均重合时,它们相互增强,A、B两光线想家,合成光波C,以至光强度增大,所发生的这种干涉及衍射效应,称为变彩,其包括单色变彩和多色变彩;
    砂金效应:半透明的单晶宝石中含有片状包裹体,当光照射时因反射作用而闪闪发亮,这种现象称为砂金效应。
    变色效应:变石成分中含有微量元素铬,变色的原因实际上是一种颜色的平衡。
    解析: 暂无解析

  • 第22题:

    问答题
    等离子体工艺在半导体制造中的应用

    正确答案: (1)IC制造中所有图形化刻蚀均为等离子体刻蚀或干法刻蚀。
    (2)应用于电介质积淀。
    (3)离子注入使用等离子体源制造晶圆掺杂所需的离子,并提供电子中和晶圆表面上的正电荷。
    (4)物理气相淀积用离子轰击金属靶表面,使金属溅镀淀积于晶圆表面。
    (5)遥控等离子体广泛应用于清洁机台的反应室、薄膜去除、薄膜淀积工艺中。
    解析: 暂无解析

  • 第23题:

    问答题
    用T12钢制造锉刀,工艺路线如下:锻造—热处理—机加工—热处理—精加工。试写出各热处理工序的名称及作用?

    正确答案: 正火、球化退火—改善钢原始组织,降低硬度;表面淬火加低温回火—提高表面耐磨性。
    解析: 暂无解析

  • 第24题:

    问答题
    机械双盘天平是应用什么原理来制造和工作的?请对该原理加以解释。

    正确答案: 机械双盘天平是应用杠杆平衡原理来制造和工作的。
    该原理是指当杠杆平衡时,作用于杠杆上的所有外力对转轴的力矩之和为零。
    解析: 暂无解析