热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

第1题：

二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

第2题：

动植物残体全部分解，与土壤颗粒紧密结合形成黑色或暗色土层称为（）。

• A、覆盖层
• B、腐殖质层
• C、灰化层
• D、淀积层

第3题：

淋溶（eluviation）与淀积（illuviation）过程

第4题：

腐殖质淀积层

第5题：

有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？

第6题：

第7题：

第8题：

第9题：

第10题：

第11题：

第12题：

第13题：

损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

• A、能量淀积
• B、动量淀积
• C、能量振荡
• D、动量振荡

第14题：

淀积粘化

第15题：

淀积黏粒胶膜

第16题：

低温淀积二氧化硅生长温度低、制作方便，但膜不够致密，耐潮性和抗离子沾污能力较差。（）

第17题：

第18题：

第19题：

第20题：

第21题：

第22题：

第23题：