实现超微图形成像的（）技术一直是推动集成电路工艺技术水平发展的核心驱动力。A、光刻B、刻蚀C、氧化D、溅射

实现超微图形成像的（）技术一直是推动集成电路工艺技术水平发展的核心驱动力。